还有美企存储巨头美光绕开EUV ， 采用全球最先进1β制造工艺做出先进的DRAM 。


还有Chiplet 小芯片技术 ， 英特尔、三星、台积电、高通等十大行业巨头成立联盟 ， 制定小芯片标准 ， 打造小芯片生态 。 近日 ， 我国也正式通过了中国小芯片技术标准 。

这些技术的推进都在绕开EUV ， 所以才有美媒表示 ， EUV光刻机开始“落幕”了 。 为此 ， ASML才不愿意按美方要求断供DUV ， 因为DUV还是未来光刻机的主流需求！

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